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  WDD_TDX

リアルタイム装置波形データ監視解析WDD/TDXのご案内

  • ・装置、製造工程の詳細なIPO情報を取り扱いながら、”数十倍もの優位な区間統計量を創出”
  • ・装置の内部状態を可視化させ、波形の特徴を踏まえた異常検出、異常予測の監視環境を提供
  • ・1マイクロ秒単位のデータ解析にも耐える高速処理。”リアルタイム監視”の性能は類を見ません。

WDD/TDX でなければならない5つの理由

① Wave Data Display (WDD)により、複数波形をタンデムにリアルタイム描画

 ・先ずは波形をリアルタイム描画するところから、着目箇所を洞察し、監視モデルの検討へ

② 1マイクロ秒単位のデータ取得と分析に耐える性能

 ・秒間 100万ポイントの取得を必要とするニーズに応える (振動波形など)
 ・1解析画面に3秒間分(300万ポイント)の波形を描画し、分析を行う

③ 高速性能を満たす業界唯一の開発プラットホームを採用

 ・National Instruments社の LabVIEW を採用する業界唯一の製品
 ・リアルタイム監視解析、装置へのリアルタイムフィードバック(APC)のプラットホームとして

④ 豊富な監視パラメータを導き出す 波形データ抽出機能

 ・波形の区間切り出し、重ねあわせ評価、区間統計量算出など、視える・使えるデータに加工
 ・装置から実際に取得されるデータ項目の数十倍~数百倍もの豊富な生きた変数を抽出

⑤ 多変量(多要因)な製造問題を解く 豊富な予測・判定手法

 ・スタンダード波形からのガードバンド監視など、きめ細かな波形監視機能
 ・予測(回帰)、異常判定(判別)、変量次元圧縮まで多変量監視をフルファンクションに提供

装置・要素技術開発フェーズ~装置やプロセスの瞬間立ち上げに向けて

  • (1) 装置の異常発生の前兆となるバラつきの検出
  • (2) 装置の正常範囲内であるバラつき幅の見極め
  • (3) 装置の変動因子や制御因子(重要パラメータ)の見極めと2次加工抽出

中量・量産フェーズ~工程の安定性確保、工程能力の改善に向けて

  • (1) 装置異常の早期検出
  • (2) 装置セットアップ後の状態確認
  • (3) 装置間差の解析とBKM(best Known Method)の展開
  • (4) 装置保守の効率化。故障予測による不良品発生防止と予防保全
  • (5) 装置内部の稼働状態を詳細に把握することでスループット改善計画

~留意・検討すべき事項のご説明

リアルタイムレシピ補正のタクト
Run to Run を超える補正を行うには、シーケンサ(制御コントローラ)と装置との連動が一般に必要となります。
監視サーバ(TDX Monitor)可用性
リアルタイム補正を行うフェーズでは、監視サーバはミッションクリティカルな役割となり、可用性の高い環境(ディスクレス装置、二重化サーバなど)が必要となります。
計測データの取扱い
欠陥データやサイトフラットネス(座標データ)、パワースペクトル(周波数成分の特徴)などの計測データを取り込んで装置との相関を解析することも可能です。
装置保全計画との連動
時間・累積処理数ベースの装置保全から、装置の異常警告をトリガにした動的な保全計画と、保全直後のエージング結果見極めに、連動させる仕組みを検証します。

様々な種別のデータを扱います

連続データ:
プロセスの開始終了で切り出せない連続データです。
適当な区間と粒度でサンプリングしてトレンドを解析します。
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数値状態データ:
レシピステップなどは波形を切り出すために用います。
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離散データ:
プロセスの開始と終了を繰り返すデータです。
波形の重ね合わせを行います。
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文字列データ:
プロセスの条件で波形を絞り込むために用います。
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波形ガードバンド監視

ガードバンドを作成します。
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ガードバンドを実行します。
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SPC監視

波形から統計量を抽出します。
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SPCを実行します。
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波形解析

波形の重ねあわせでは、3D表示もできます。
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複数波形を同時に表示します。
ガードバンドや基準波形の設定表示ができます。
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統計解析

波形から任意の区間統計量を抽出します。
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波形から抽出した統計量のバラつきを表示します。
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波形から抽出した統計量の相関解析を行います。
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オプション機能(装置稼働状態解析)

装置内のユニット単位に動作時間のバラつきを監視します。
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